半導体産業

1. フリーコンビネーション 2. レール共用設計 3. 総ボールタイプ＆リテーナタイプ両者兼有 4. 防塵バリエーション豊富"

フランジなし

フランジなし

内部循環シリーズ

1. Only compatible with the inductive piezo stage 2. Compact size 3. Expandable (Controller stackable) 4. Provides the axis quantity from 1 to 3 5. Customized design"

1. Only compatible with the optical piezo stage 2. Compact size 3. Expandable (Controller stackable) 4. Provides the axis quantity from 1 to 3 5. Selective control interface (USB/SMA) 6. Customized design

1. Offers 1 kind of travel range which is 10 mm 2. The maximum loading is 150 g 3. 37 nm typical resolution"

1. Offers 4 kinds of travel range (20mm / 28mm / 36mm / 44mm) 2. The maximum loading is up to 4 kg 3. 37 nm typical resolution​"

1. Offers 1 kind of travel range which is 10 mm 2. The maximum loading is 150 g 3. High-precision 1 nm and standard 100 nm typical resolution

1. 金 製保持器設計 2. 自己潤滑システムでメンテナンスフリー"

1. 世界通用寸法に全面的に対応可能 2. ケージ型　潤滑力アップ 3. 塑件迫緊系統確保精度 4. 特許ロック設計、高精度達成 5. 防塵シール装着"

内部循環シリーズ