半導体産業

1. Only compatible with the inductive piezo stage 2. Compact size 3. Expandable (Controller stackable) 4. Provides the axis quantity from 1 to 3 5. Customized design"

1. Only compatible with the optical piezo stage 2. Compact size 3. Expandable (Controller stackable) 4. Provides the axis quantity from 1 to 3 5. Selective control interface (USB/SMA) 6. Customized design

1. Offers 1 kind of travel range which is 10 mm 2. The maximum loading is 150 g 3. 37 nm typical resolution"

1. Offers 4 kinds of travel range (20mm / 28mm / 36mm / 44mm) 2. The maximum loading is up to 4 kg 3. 37 nm typical resolution​"

1. Offers 1 kind of travel range which is 10 mm 2. The maximum loading is 150 g 3. High-precision 1 nm and standard 100 nm typical resolution

1. フリーコンビネーション 2. レール共用設計 3. 総ボールタイプ＆リテーナタイプ両者兼有 4. 防塵バリエーション豊富"

1. 金 製保持器設計 2. 自己潤滑システムでメンテナンスフリー"

1. 世界通用寸法に全面的に対応可能 2. ケージ型　潤滑力アップ 3. 塑件迫緊系統確保精度 4. 特許ロック設計、高精度達成 5. 防塵シール装着"

内部循環シリーズ

フランジなし

ミュートシリーズ

ミュートシリーズ