半導体産業

appbanner_2.jpg

APPLICATIONS

Semiconductor Related Equipment、Inspection Equipment


PRODUCTS USED

リニアガイド--スタンダードタイプ -BGX

リニアガイド--スタンダードタイプ -BGX

1. フリーコンビネーション 2. レール共用設計 3. 総ボールタイプ&リテーナタイプ両者兼有 4. 防塵バリエーション豊富"

リニアガイド--スタンダードタイプ -BGX

MPH シリーズ

MPH シリーズ

1. 金 製保持器設計 2. 自己潤滑システムでメンテナンスフリー"

MPH シリーズ

リニアガイド--ミニチュアタイプ- MBC

リニアガイド--ミニチュアタイプ- MBC

1. 世界通用寸法に全面的に対応可能 2. ケージ型 潤滑力アップ 3. 塑件迫緊系統確保精度 4. 特許ロック設計、高精度達成 5. 防塵シール装着"

リニアガイド--ミニチュアタイプ- MBC

Optical piezo vertical stage

Optical piezo vertical stage

1. Offers 1 kind of travel range which is 10 mm 2. The maximum loading is 150 g 3. High-precision 1 nm and standard 100 nm typical resolution

Optical piezo vertical stage

Inductive piezo linear stage

Inductive piezo linear stage

1. Offers 4 kinds of travel range (20mm / 28mm / 36mm / 44mm) 2. The maximum loading is up to 4 kg 3. 37 nm typical resolution​"

Inductive piezo linear stage

Inductive piezo vertical stage

Inductive piezo vertical stage

1. Offers 1 kind of travel range which is 10 mm 2. The maximum loading is 150 g 3. 37 nm typical resolution"

Inductive piezo vertical stage

Optical piezo controller

Optical piezo controller

1. Only compatible with the optical piezo stage 2. Compact size 3. Expandable (Controller stackable) 4. Provides the axis quantity from 1 to 3 5. Selective control interface (USB/SMA) 6. Customized design

Optical piezo controller

Inductive piezo controller

Inductive piezo controller

1. Only compatible with the inductive piezo stage 2. Compact size 3. Expandable (Controller stackable) 4. Provides the axis quantity from 1 to 3 5. Customized design"

Inductive piezo controller

ボールネジ FDIシリーズ

ボールネジ FDIシリーズ

内部循環シリーズ

ボールネジ FDIシリーズ

ボールネジ RSKシリーズ

ボールネジ RSKシリーズ

ボールネジ RSUシリーズ

ボールネジ RSUシリーズ

ミュートシリーズ

ボールネジ RSUシリーズ

ボールネジ FSSシリーズ

ボールネジ FSSシリーズ

ミュートシリーズ

ボールネジ FSSシリーズ